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線性馬達LM系列
特長:
高速化、高精度的實現
機械架構簡單
適用於乾淨要求的環境
高性能MR-J3系列對應
適用範圍:半導體實裝安置,單晶片清潔裝置,NC工具機、電子光束掃除機,液晶組立裝置(複數驅動化)
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